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旋片式真空泵

旋片式真空泵主要由泵体(静子)和转子组成。在转子 槽中装有两块以上的旋片,有些泵 旋片间还装有弹簧。转子偏 心地装在泵腔内,其外缘 与泵腔顶部表面的间隙为2~3微米。转子旋转时,在离心力等作用下,旋片沿 槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔 分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺 时针方向旋转时,与吸气 口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低,被抽气 体便从吸气口源源不断地吸入。同时,与排气 口相通的排气腔容积由大变小,吸入腔 内的气体被压缩,待气体 压力高于大气压力时,推开排气阀排出大气,转子连续转动,泵便不断抽气。

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